「中国の見本市では外国製半導体装備をそのままコピーした『コピーキャット』企業が大挙出ているが、毎年この会社の装備がさらに精巧でさらに洗練されているのが目に付きます」。

２０日から３日間にわたり中国・上海で開かれた中国最大規模の半導体素材・部品・装備見本市「セミコンチャイナ」に行ってきた韓国の半導体業界関係者は２５日、中央日報との通話で「毎年行くたびに展示規模が大きくなり技術が発展するのが感じられる。中国の半導体崛起が恐ろしいほど実感できる」と話した。

上海で開かれたこの見本市には合計１１００社が参加した。米国企業やＡＳＭＬのような世界半導体企業のブースはないが、これらの空席は韓国・台湾・日本の一部企業と独自開発装備を紹介する中国企業が埋め合わせた。米国は中国の先端半導体発展を防ぐため２０１９年から半導体装備の中国向け輸出を禁止している。だがこうした制裁が色を失うほど中国は装備産業技術力を急速に引き上げている。

◇中国版ＡＳＭＬにラムリサーチも

半導体業界によると「中国のＡＳＭＬ」というニックネームを持つ国営半導体装備企業の上海マイクロエレクトロニクス（ＳＭＥＥ）のブースには２８ナノメートル（１ナノメートル＝１０億分の１メートル）極端紫外線（ＥＵＶ）露光装備の技術水準を尋ねる観覧客でにぎわった。この企業は昨年末に独自技術で２８ナノＥＵＶ装備を開発したとして世界を驚かせた。ＡＳＭＬから先端装備を調達できない中国に半導体製造の核心である露光装備の独自開発は重要な課題だった。ファーウェイがＥＵＶより下の段階である深紫外線（ＤＵＶ）装備を活用して７ナノチップまで作り出しただけに、独自のＥＵＶ露光装備を確保するならば７ナノ以下の製造も独自技術で可能なためだ。

中国最大の装備業者である北方華創（ナウラ）は最も大きい規模のブースを用意した。北方華創は蒸着・食刻装備業者で中国のアプライドマテリアルズと呼ばれる。北方華創の趙晋栄代表は２１日、この行事の基調演説に上がり、「半導体技術の発展は製造装備の革新にかかった。北方華創の昨年の売り上げは推定で前年比４０％以上増加し、売り上げ基準世界１０大半導体装備メーカーになった」と話した。ガートナーによると、２０２２年基準で世界の半導体装備市場はＡＭＡＴ、ＡＳＭＬ、ラムリサーチ、東京エレクトロンの４社が７０％を占めて、上位１０社のうち韓国と中国の企業はひとつもない。

食刻装備を生産する「中国のラムリサーチ」ＡＭＥＣのジェラルド・イン会長はこの行事で、昨年の売り上げが３０％以上増加し、中国が輸入する半導体装備の８０％を年内に中国製に変えられると明らかにした。新製品情報予想家のレベグノスは同社関係者の話として「会社は装備国産化に成功し、台湾ＴＳＭＣもＡＭＥＣの装備を使う」と自身のＸアカウントで明らかにした。国際半導体装備材料協会（ＳＥＭＩ）によると、昨年の半導体装備の世界販売台数は２％減少したが、中国本土内で販売台数は２８％増加した。この増加分を中国装備企業が販売したとみられる。

◇中国も「米国チップ禁止」

中国半導体装備企業の注目するほどの成長には政府の多角的支援の影響が大きい。中国政府は過去最大２７０億ドル規模の半導体自立ファンドを作り企業を支えている。中国１位の装備企業である北方華創もやはりこのファンドの支援を受けた。

中国政府は資金支援にとどまらない。自国企業が成長できるよう外国製品の使用を禁止するなど市場環境作りにも積極的だ。米国はこれまで「安保脅威」を名目にファーウェイなど中国企業をブラックリストに上げ輸出制裁をしてきたが、安保に影響のない消費財に限っては輸出を許容し実利を得てきた。だが中国政府がこうした米国製消費財の使用を禁止させ対中制裁に対抗している。自国企業の自活力を育てようとする目的も大きい。中国政府はｉＰｈｏｎｅに続きインテルとＡＭＤなど米国企業のマクロプロセッサーを搭載したパソコンとサーバーを政府機関から締め出そうとしているという。

◇韓国半導体業界への影響は

中国の半導体生態系の成長を見守る韓国の半導体業界の雰囲気は複雑でもどかしい。当面は中国の成長が韓国の装備業界の売り上げ拡大の側面で肯定的だが、長期的に中国が装備産業を内在化し韓国企業の需要が減りかねないためだ。現在は米国の制裁が届かない後工程装備を中心に韓国企業の中国進出が活発だ。今年も東進セミケムなど４７社がセミコンチャイナの「韓国館」に参加した背景だ。

韓国半導体装備業者関係者は「中国では半導体酷寒期がすでに底を打ちいまは上昇だけ残ったという雰囲気。装備技術は生産性と正確性が核心だが、中国装備のスペックが現在は韓国より劣っていても２～３年あれば追い越される分野ができるだろうと思うほど」と話した。