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サムスン、半導体工程に8月中旬から韓国製フッ化水素投入

ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2019.09.04 07:38
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サムスン電子がDRAMやNAND型フラッシュなどメモリー工程に日本製フッ化水素の代替品を投じ始めた。日本政府が7月4日にフッ化水素、フォトレジスト、フッ化ポリイミドの先端素材3品目に対する対韓輸出規制に出てから1カ月半ぶりに代替材の投入に出たもの。このようにサムスン電子やSKハイニックスで日本製フッ化水素の代替作業が予想より早く進み、年末を前後して完全に代替作業を完了できるだろうという見通しが出ている。

3日の半導体業界によると、サムスン電子は韓国のソルブレインとENFテクノロジーが製造したフッ化水素の納品を受け先月中旬から一部工程に投じ始めた。2つの会社は中国製の無水フッ化水素酸を輸入して日本から輸入していた純度99.999%のフッ化水素の液状製品を作るのに成功した。ただ、国産フッ化水素を半導体生産のすべての工程ラインに投じる段階ではない。サムスン電子関係者は「韓国企業が生産したフッ化水素の試作品を敏感度が低い工程から順次投じており、敏感度が高い工程に広めていく方針」と説明した。半導体の工程は500種類ほどで構成されており、このうちフッ化水素が必要な工程は50工程前後だ。サムスン電子はこのうち1~2工程から日本製に代わり国産製品を使っているという。

SKハイニックスもやはり韓国企業が生産したフッ化水素を近く試運転作業に投じる計画だ。今年に入り2度減産に入ったSKハイニックスは、日本発の素材不足では相対的に余裕がある方だ。SKハイニックスは中国・無錫にある半導体生産ラインでは中国製フッ化水素で日本製の代替作業を完全に終えたという。

これとともにサムスン電子とSKハイニックス内部の素材開発担当エンジニアは国産フッ化水素試作品に対する成分分析を進めている。韓国企業が作ったフッ化水素を半導体ラインに合わせて素材成分などを調整する作業だ。素材企業とサムスン電子、SKハイニックスが一種の「共同開発」をする過程で、これまで使っていた日本のステラケミファと森田化学工業の製品と比較して成分構造で大きな差がなければ半導体工程に全面的に投じた時にも製品欠陥が発生しないためだ。

これに加えて韓国企業のソルブレインが今月末に予定通りに忠清南道(チュンチョンナムド)の公州(コンジュ)工場増設作業を完了する場合、国産フッ化水素の量産規模もさらに大きくなる見通しだ。ソルブレインとENFフテクノロジーはそれぞれの日本のステラケミファ、森田化学工業から輸入したフッ化水素を精製した後、エッチング液形態でサムスン電子に半導体工程用素材として納品してきた。これら韓国企業は日本の輸出規制が始まってからフッ化水素の輸入先を台湾と中国に変えた。

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