「日本の高純度フッ化水素なければサムスンのファウンドリーは危機」
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2019.07.08 08:03
「ファウンドリーは顧客との信頼関係がカギだが、台湾TSMCとの競争で確保した取引先を逃さないか心配だ」。
サムスン電子がソウル三成洞(サムソンドン)グランドパルナスホテルでファウンドリーフォーラムを開催した4日、ファウンドリー事業部の役員が最近の日本の先端素材3種(フッ化水素、レジスト、フッ化ポリイミド)輸出規制に関連して述べた言葉だ。ファウンドリーとは、工場(Fab)がない半導体設計会社のファブレスから注文を受ける委託生産で、韓国政府が2030年までに世界1位という目標を掲げた非メモリー分野の一つの軸だ。
最近、IBM・クアルコム・エヌビディアなど米国企業から相次いで受注を受けたサムスン電子としては受注物量の供給に支障が生じる状況を迎えた。日本経済産業省の輸出規制品目のうち「1-15ナノ(nm)波長の光で使用するレジスト」には極端紫外線(EUV)工程用のフォトレジスト(PR)が含まれるからだ。EUVは光の波長(13ナノ)が従来のフッ化アルゴン(ArF、193ナノ)の14分の1程度にすぎず、さらに微細な線路を描くことができる。