「ファウンドリー1位目標」サムスン電子、業界初7ナノチップ量産へ
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2019.04.16 15:42
サムスン電子が16日、5ナノメートル(nm)半導体工程の開発に成功したと明らかにした。また、今月中に半導体業界で初めて極端紫外線(EUV)基盤の7ナノ量産チップを本格的に出荷すると発表した。1ナノメートルは10億分の1メートルだが、人の髪の毛(10マイクロメートル、um)の1万分の1の太さだ。これを受け、次世代半導体微細工程をめぐるサムスン電子と台湾TSMCの技術力競争がさらに激しくなる見込みだ。
この日、サムスン電子が開発に成功したと明らかにした5ナノ微細工程は、従来のフッ化アルゴン(ArF)より優秀と評価されるEUV基盤技術。EUVは従来のフッ化アルゴン(ArF)工程より短い波長で細かい半導体回路パターンをより正確に描くことができる。サムスン電子はオランダ半導体装備企業ASMLから最先端EUV装備を導入したが、1台の価格が約6000億ウォン(約600億円)という。