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韓経:韓国企業「純度99.999%以上の気体フッ化水素供給可能」

ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2019.08.09 11:01
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「相対的に難度が高いガス形態の高純度フッ化水素(エッチングガス)も国産化できる見通しだ」。

ソルブレインのパク・ヨンス中央研究所長(副社長)は8日、「純度99.999%以上の高純度フッ化水素も供給可能」とし、このように述べた。

パク副社長は「ガス運搬および保管に必要な容器を確保しなければいけないが、大きな問題はないとみている」と話した。日本が韓国への輸出を規制している高純度フッ化水素は、半導体工程で不純物を除去する洗浄作業と回路を残してそのほかの部分を削る食刻作業に広く使われる。

ソルブレインはサムスン電子とSKハイニックスに「液体」形態の高純度フッ化水素を供給している。昨年は売上高9634億ウォン(約843億円)、営業利益1641億ウォンだった。売上高のおよそ半分は高純度フッ化水素を含む食刻液で生じる。液体形態の高純度フッ化水素は国産化がある程度進んでいるが、気体形態の製品は日本への依存度が高い。

ソルブレインはその間、高純度フッ化水素を二元化して生産してきた。全体生産量の約70%は日本のステラケミファから高純度フッ化水素を輸入した後、添加剤などを混ぜてサムスン電子が希望する条件に合う製品を提供する。残りの30%程度は中国から原材料(無水フッ化水素)を輸入して純度を高める精製作業をして納品する。

ソルブレインの忠清南道公州(コンジュ)工場は現在、完全稼働状態だ。日本の経済報復以降、サムスン電子などの顧客は追加で物量を要請したが、提供はできなかった。しかし政府が許認可手続きなどを大幅に緩和し、昨年着工した第2工場を来月にも早期完工することになった。パク副社長は「第2工場が稼働すれば、サムスン電子など顧客の不足分を十分に供給できるだろう」とし「第2工場で生産した製品の品質をどれほど迅速に安定化させるかが残された課題」と説明した。

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