サムスン電子に納品するため「脱日本」…TOK、フォトレジストを韓国で生産
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2020.07.02 16:38
日本の半導体素材企業の東京応化工業(TOK)が自国政府の輸出規制を避けフォトレジスト(感光液)を韓国で本格生産し始めた。フォトレジストは半導体ウエハーに光を当てて回路線を描く露光工程に先立ち塗る液体で、極端紫外線(EUV)用フォトレジストは日本政府が昨年7月から対韓輸出を規制した品目のひとつだ。
◇日本政府の輸出規制避け仁川で量産
2日の半導体業界によると、TOKは仁川(インチョン)の松島(ソンド)にあるサムスン物産との合弁法人のTOK先端材料でEUV用フォトレジストを生産している。TOKは安定したサプライチェーンを望むサムスン電子に向け韓国での生産を増やすという。TOKは日本政府の輸出規制以前にも自国から原材料を持ち込んで松島工場でフォトレジストの完成品を少量生産していたが、最近ではEUV用製品まで量産に入ったという。