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韓経:韓国企業「純度99.999%以上の気体フッ化水素供給可能」
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韓経:韓国企業「純度99.999%以上の気体フッ化水素供給可能」
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版
2019.08.09 11:01
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「相対的に難度が高いガス形態の高純度フッ化水素(エッチングガス)も国産化できる見通しだ」。
ソルブレインのパク・ヨンス中央研究所長(副社長)は8日、「純度99.999%以上の高純度フッ化水素も供給可能」とし、このように述べた。