海外からの輸入に主に依存してきた一部素材・部品・装備分野で韓国が競争力強化を推進する中で、政府出資機関の韓国標準科学研究院が素材・部品・装備競争力強化計画を発表した。国産装備の性能検証を強化し、測定研究装備を開発する内容が核心だ。

標準研は１３日にオンライン記者懇談会を開き、この２年間の素材・部品・装備分野研究成果と今後の計画を紹介した。韓国の素材・部品・装備競争力強化に向け標準研が出した代表的な成果は半導体製造用フッ化水素の国産化支援だ。半導体回路の洗浄などに使われる核心素材であるフッ化水素は２０１９年に日本が輸出を規制した代表的な品目のひとつだ。

標準研ガス分析標準グループはフッ化水素を含む半導体用ガスの素材国産化に寄与した。韓国企業はこれまでフッ化水素の生産能力はあったが品質評価標準がなく、海外に実験を依頼しなければならなかった。韓国国内で生産したフッ化水素の品質を検証するためだ。

標準研は高純度フッ化水素の品質評価標準を作り信頼性のある品質試験結果を提供した。ＳＫマテリアルズのパク・チボク品質分析担当チーム長は「標準研との協力を通じてＳＫマテリアルズは半導体用ガス素材品質を向上できた」と説明した。

標準研のイ・サンイル化学バイオ標準本部長は「フッ化水素以外にも四塩化ケイ素、モノシランなど２０種以上の半導体用ガス品質評価技術を相次いで開発し、韓国の素材産業の競争力を引き上げる」という目標を明らかにした。

◇標準研、フッ化水素自立化支援

プラズマ変数測定技術もやはり標準研が出した主要成果だ。プラズマとは気体が超高温状態に加熱され、電子・陽電荷を持っているイオンから分離した状態だ。プラズマ変数測定技術は半導体製品の歩留まりと直結した技術だ。標準研が開発した技術はリアルタイムでプラズマ変数測定が可能で、測定不確度が２％以内で世界最高水準だ。

標準研のカン・サンウ先端測定装備研究所長は「機器にセンサーが内蔵された装備で国産装備の競争力を育て、核心測定装備基本技術を開発する」と話した。

標準研はまた、韓国の素材・部品・装備企業が優秀技術を開発できるよう支援プログラムを用意する。韓国企業が国産研究装備を無償で活用できる空間として国産研究装備活用ラボを１月に開設し、１３日には標準研独自の開発装備を設置・試験する開放型研究室のオープンイノベーションラボを追加で開設した。

また、延世（ヨンセ）大学融合大学院と了解覚書を締結し、９月から融合半導体協同課程を運営する。標準研と延世大学の教授がチームを設けて学生を共同指導し、融合研究を遂行する課程だ。

標準研のパク・ヒョンミン院長は「韓国の素材・部品・装備企業が競争力を強化できるよう国産装備性能検証と研究装備開発、人材育成を支援したい」話している。