日本、フッ化水素の韓国輸出を許可…輸出規制後2カ月ぶり初めて
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2019.08.30 06:49
日本政府が第1次輸出規制対象に指定した半導体核心材料3品目の1つである高純度フッ化水素の韓国輸出を初めて許可した。
29日、韓国産業通商資源部によると、経済産業省は先月4日、韓国に対する輸出規制を始めてから約2カ月ぶりにフッ化水素輸出1件を承認した。対象はステラケミファの製品で、サムスン電子に納品する物量であることが確認された。日本政府は▼フッ化水素▼フッ化ポリイミド▼極端紫外線ファウンドリ用フォトレジスト(感光材)--など3つの規制品目のうち、感光材に限り今月7日と19日の2度、輸出を許可した。フッ化水素は半導体基板であるシリコンウェハーに転写された回路図に従って基板を加工するエッチング工程に使われる核心材料だ。日本政府はこれまでフッ化水素が軍事用途に転用される可能性があると主張してきた。フッ化水素に対する対日依存度が高いため、韓国企業の在庫が底をつけば、来月末以降、工場の稼働に問題が生じるかもしれないとの懸念も大きかった。