日本、韓国の現主要産業DRAM・NANDまで照準
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2019.08.05 10:59
日本が韓国をホワイト国(輸出優遇国)から除外し、国内半導体業界の危機感が高まっている。日本は先月からサムスン電子やSKハイニックスが次世代産業とするAP(アプリケーションプロセッサ)やLAIシステム半導体の生産に必要な193ナノメートル未満のフォトレジストを輸出規制品目に含めた。今回は両社の現在の主要産業であるDRAMとNAND型フラッシュメモリーの生産に必須の245ナノメートル未満の光源用マスク装備と基板を規制する態勢だ。これを受け、半導体業界は「日本の輸出規制が未来の産業に照準を合わせたとすれば、今回は現在の産業をターゲットにしたようだ」と懸念している。
日本が韓国をホワイト国から除外し、輸出規制品目は約1100種類にのぼる。うち半導体生産と直接関連するのは大きく半導体装備、マスク装備、マスク、ウェハーの4品目。半導体装備はサムスン電子やSKハイニックスの場合、2、3年間の半導体輸出好況を迎えながら先行投資を進め、生産に支障がないほどの生産ラインを構築している。
しかしマスクは違う。マスクは半導体の微細回路を形象化するガラス基板で、日本の光学企業HOYAと信越化学がほぼ独占供給してきた。特に245ナノメートル未満の光源用マスク基板は14ナノメートルほどのDRAMやNAND型フラッシュメモリーの生産に必要となる。すなわち、日本が245ナノメートル用マスク基板の韓国輸出を難しくすれば、サムスン電子やSKハイニックスはDRAMやNAND型フラッシュメモリーの生産に支障が避けられなくなる。