韓経:SKハイニックス「東芝に先立ち3次元NAND量産…後発ランナー弱点克服」(1)
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2016.02.29 14:14
「これが3次元(3D)NANDです。平面製品よりも深く掘った回路がしっかり見えるでしょう」
SKハイニックス清州(チョンジュ)工場のM12生産ラインでキム・ジョンヒョンNANDファブ1チーム長が、加工中のフープ(foup、半導体工程でウエハーを入れて移動させる容器)を持ち出して見せてくれた。フープ中にある25枚のウエハー上面に回路図がきめこまかく打ち込まれていた。この会社が先週、工程に導入して加工中の3次元NANDチップだ。このチップは1カ月半の工程が終わる4月初めにSKハイニックスのロゴを付けて出荷される。NAND業界の後発ランナーであるSKハイニックスが「NANDの元祖」である日本の東芝や米国マイクロンを抜いて世界で2番目に3次元NANDの量産に入ったのだ。