「日本の高純度フッ化水素なければサムスンのファウンドリーは危機」

「日本の高純度フッ化水素なければサムスンのファウンドリーは危機」

2019年07月08日08時03分
[ⓒ 中央日報/中央日報日本語版]
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サムスン電子は華城(ファソン)事業場内にEUV専用ラインを9月に完工させる計画。(サムスン電子)
  「ファウンドリーは顧客との信頼関係がカギだが、台湾TSMCとの競争で確保した取引先を逃さないか心配だ」。

  サムスン電子がソウル三成洞(サムソンドン)グランドパルナスホテルでファウンドリーフォーラムを開催した4日、ファウンドリー事業部の役員が最近の日本の先端素材3種(フッ化水素、レジスト、フッ化ポリイミド)輸出規制に関連して述べた言葉だ。ファウンドリーとは、工場(Fab)がない半導体設計会社のファブレスから注文を受ける委託生産で、韓国政府が2030年までに世界1位という目標を掲げた非メモリー分野の一つの軸だ。

  最近、IBM・クアルコム・エヌビディアなど米国企業から相次いで受注を受けたサムスン電子としては受注物量の供給に支障が生じる状況を迎えた。日本経済産業省の輸出規制品目のうち「1-15ナノ(nm)波長の光で使用するレジスト」には極端紫外線(EUV)工程用のフォトレジスト(PR)が含まれるからだ。EUVは光の波長(13ナノ)が従来のフッ化アルゴン(ArF、193ナノ)の14分の1程度にすぎず、さらに微細な線路を描くことができる。

  9月にEUV専用ラインを完工させて来年1月からは7ナノ工程でチップを量産する計画のサムスン電子は危機に直面した。サムスン電子はファウンドリーだけでなくDRAMの生産にも品質向上のためにEUV用レジストを使用することにした。

  1カ月間ほどの在庫が残っているフッ化水素(HF、エッチングガス)の場合、最近、安定的な取引先を確保するために台湾・中国に購買担当の役職員を派遣した。フッ化水素は半導体製造工程のうち回路基板のエッチング工程に使われる。台湾にある日本ステラケミファの工場からエッチングガスを受けることにしたが、これも日本政府の承認があってこそ最終的に安定した需給が可能だという。

  サムスン電子やSKハイニックスは「スリーナイン(99.9%)」「フォーナイン(99.99%)」級は確保できても、「ファイブナイン(99.999%)」級の高純度フッ化水素はほとんど日本が供給する。1億分の1(ナノ)半導体工程では高純度のフッ化水素を使用してこそ収率(生産量に対する欠陥のない製品比率)が高まり、製品の品質も担保できる。低純度のフッ化水素はラインの稼働にも影響を及ぼしかねない。

  ある半導体企業の役員は「3カ月分ほどの高純度フッ化水素を確保してこそ現在の状況から最悪に向かわない」と話した。日本政府の規制措置のため、3大先端素材の場合、最大90日まで輸出が遅れることがあるからだ。昨年11月にも日本はエッチングガス(高純度フッ化水素)の輸出を承認せず、2日後に許可したことがあった。サムスン電子は当時から日本内部の状況を感知し、危機管理プランを稼動させた。

  日本政府が今後、先端素材規制品目を増やす方式で圧力の程度を高める可能性があるという分析も出ている。半導体の回線を描くのに使用される原材料のウェハーが次の輸出規制品目に挙がっている。世界ウェハー市場で日本のSUMCO・信越化学が全体の53%を占め、韓国企業はSKシルトロン(9%)だけが主な供給企業だ。キウム証券のオアク・ユアク研究員は「台湾やドイツからも購買できるが、現在のタイトな需給状況を考えるとやや無理がある」と予想した。

  半導体回路を刻むフィルムのブランクマスクも規制対象となる可能性がある。サムスン電子が準備する7ナノのEUV工程には日本HOYAのブランクマスクが必須という。
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