【時論】半導体革命の時期、韓国政府だけが知らないのか(2)
ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2018.05.02 10:47
こうした工程に必要な物質の供給会社・成分・粘度・厚さなど工程情報の一つ一つが製品の収率と価格に直接的な影響を与える。特にDRAMのキャパシタやトランジスター関連工程と物質は収率に非常に大きな影響を与える。工程の順序と物質の設計によって絶縁膜が不均一になったり、部分絶縁破壊が生じれば電流漏洩現象が発生する。この場合、その半導体は電子を保存できなくなり、その後のテスト過程を通過できなくなる。
こうした難易度はパターンの大きさがナノメートルの領域になるにつれて高まる。洗浄物質一つを誤って選択して製品の収率が落ちれば、これをまた上げるためには6カ月-1年かかることもある。さらに使用される化学物質や気体の量を通じて、その物質が量産段階で使用するのか、まだ開発段階なのかも類推できる。こうした物質情報と工場構造図、装備配置図はその会社の生産秘密と計画、そして戦略を類推する手掛かりとなる。